光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。
清除后留下的图案和掩模上的一致，再进行蚀刻。
尽管到这一步已经非常繁琐，可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数，直至制造出布满芯片的晶圆。
虽然这个等待的过程比较枯燥，徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。
在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。
并丢弃瑕疵芯片。
余下芯片经过封装再次测试后，便能包装发货。
把整个流程全部跟下来，可以确定光刻机的各项功能和运行都没有问题，在设计时的理想参数范围内。
虽不知道长期运行后会有什么变化，起码现在通过了测验。
接下来则只需要确定芯片的瑕疵率，以及生产出的芯片最终性能。
如果都没有问题的话，便能够正式对外界宣布首台国产极紫外光刻机交付。
相信解释肯定会引起全球的轰动。
“拿到最终芯片测试数据还要等些时间，院长还是先去休息室吧。”
徐昀稍微松了口气，特意对身旁的侯盛昌说。
眼下该看的东西都已经看完，接下来光刻机也会自行运转工作，倒没必要继续留在原地等待。
“放心吧院长，肯定不会有问题的。”闻言旁边的罗长辉也接过话茬附和道。
侯盛昌年纪虽然在这放着，可面对让人魂不守舍的极紫外光刻机，他宁愿多驻足会欣赏这个大家伙。
可想到结果出来还要些时间，而他刚好有其他事情告诉项目组，便不再迟疑当即点头答应下来。
“那好吧。”
随着侯盛昌松口，在徐昀的带领下便一起前往不远处的休息室。
由于其他人还要盯着主控系统记录数据，此刻休息室内除了徐昀和侯盛昌外，只有罗长辉院士和杨靖研究员两个人。
国产极紫外光刻机进展迅速，眼看就能正式交付使用制造芯片。
这使得大家的心情都很不错，连带休息室的氛围都轻松了不少。
“这次可要好好看看海外那些家伙的脸，无论如何他们也不会想到我们的进度会这么快。”
“等我们宣布这个消息，相信全球都会动容的。”杨靖这时接过罗长辉的话微笑着补充了句。
身边侯盛昌也是满脸笑容：“这一天的到来确实很值得期待。”
“已经不远了。”
心情从来没有像今天这么高兴。
听着众人的谈话，徐昀要说不高兴那绝对是假的。
不过说实话他的心思却不在这上面。
国产极紫外光刻机的研发成功已经是板上钉钉，基本不会出现什么状况。
可以说他是否继续留在锦城都已经无所谓了。
按照他的计划，是等光刻机测试结束后，便立刻返回京州市。
这几个月时间内他虽说经常回京州陪陈诗禾，但总共时间并不算多。
而陈诗禾的预产期是在八月份，剩下的
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